智光电气:粤芯半导体采购的荷兰ASML光刻机已搬进主厂房

智光电气在互动平台上表示,参股公司粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机,已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房,目前在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻,为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。