上海光机所:我们国家做光刻的主力军在光刻光源上丨一手

在6月2日的2021浦江创新论坛·科技创新青年峰会上,中科院上海光学精密机械研究所研究员田野表示,目前我们国家做光刻的主力军在光刻光源上,我们知道光刻首先得有光源,所以我们在光刻光源上努力攻关,尤其是从准分子的波段推进到13.5纳米的新波段。点击视频,一看究竟。